2， 管道与部件

化学物料的输送管道及部件的材料，应符合设计要求，当设计未明确要求时，有机溶剂的管道宜用低炭不锈钢管，酸、碱类管道宜用聚四氟乙烯（PFA）管，并应要求设计方确认。

阀门材料应与管道材质一致。阀管间垫片宜采用氟橡胶或聚四氟乙烯。

在非金属管道中输送有腐蚀性、易燃性的化学物料时，必须采用保护套管，保护套管可用透明的聚氯乙烯（PVC）管；输送易燃性的化学物料时，可用熔点高于1100℃的金属套管。

化学物料输送管道安装完成后，应关断通往容器阀门、卸下管中过滤器与流量计等附件，然后应采用干燥的与洁净室洁净度匹配的压缩空气、纯氮吹净再用纯净水清洗。

3，中间验收

中间验收除应符合本规范外，还应遵守《常用危险化学品的分类及标志》GB13690和《工业金属管道工程施工及验收规范》GB50235的相关规定。

主控项目

容器应经过严格的清洁，表面应无伤痕，零件安装应牢固，并应使阀门操作方便、仪表容易读数。

检验方法：观察检查。

检验数量：全部。

容器垂直度的最大偏差，不应大于0.2％。

检验方法：观察检查、挂5m线，直尺量。

检验数量：全部。

系统管道吹净时间宜为1h～2h，直至排出气体洁净度符合设计要求。

检验方法：观察检查，粒子计数器测定。

检验数量：全部。

应在1.5倍工作压力的检验压力下经30min试验无泄漏。

检验方法：检查试验记录。

检验数量：全部。

9     配电系统

应在对所需各种材料、管线、盘柜、开关、灯具等检验合格后开始配电系统施工作业。

1，线路

洁净区用电线路与非洁净区线路应分开敷设；主要工作（生产）区与辅助工作（生产）区线路应分开敷设；污染区线路与清洁区线路应分开敷设；不同工艺要求的线路应分开敷设。

穿过围护结构的电线管应加设套管，并应用不收缩、不燃烧材料将套管密封。进入洁净室的穿线管口应采用无腐蚀、不起尘和不燃材料封闭。有易燃易爆气体的环境，应使用矿物绝缘电缆，并应独立敷设。

不应在建筑钢结构构件上焊接固定配电线路、设备的支架螺栓。

施工配电线路的接地（PE）或接零（PEN）支线必须单独与相应的干线连接，不得串联连接。

金属有线导管或线槽不应焊接跨接接地线，应用专用接地点跨接。

接地线穿越围护结构和地坪处应加钢套管，套管应接地。接地线跨越建筑物变形缝时，应有补偿措施。

2，电气设备与装置

洁净室所用100A以下的配电设施与设备安装距离不应小于0.6m，大于100A时不应小于1m。

洁净室的配电盘（柜）、控制显示盘（柜）、开关盒宜采用嵌入式安装，与墙体之间的缝隙应采用气密构造，并应与建筑装饰协调一致。

配电盘（柜）、控制盘（柜）的检修门不宜开在洁净室内，如必须设在洁净室内，应为盘、柜安装气密门。

盘（柜）内外表面应平滑，不积尘、易清洁，如有门，门的关闭应严密。

洁净环境灯具宜为吸顶安装。吸顶安装时，所有穿过吊顶的孔眼应用密封胶密封，孔眼结构应能克服密封胶收缩的影响。当为嵌入式安装时，灯具应与非洁净环境密封隔离。单向流静压箱底面上不得有螺栓、螺杆穿过。

洁净室内安装的火灾检测器、空调温度和湿度敏感元件及其他电气装置，在净化空调系统试运转前，应清洁无尘。在需经常用水清洗或消毒的环境中，这些部件、装置应采取防水、防腐蚀措施。

3，中间验收

原设计线路路线和安装位置无设计方认可文件的，不予验收。

主控项目

电气线路与电气设备穿越围护结构的连接处，均应密封并应和建筑装饰协调一致。

检验方法：观察检查。

检验数量：按房间数抽查30%。

用于三相380V的配线和用于单相220V的配线，其绝缘层应有可明显区分的颜色。

检验方法：观察检查。

检验数量：按房间数抽查30%。

接线盒或配电盘（柜）应在线管外有足够余量的线、缆。

检验方法：观察检查。

检验数量：按房间或设备抽查30%。

配电安装时留下的可见洞眼均应密封。

检验方法：观察检查。

检验数量：按房间抽查30%。

接地体埋深应大于0.6m，地上接地体与地面之间距离宜大于250mm，垂直接地之间距离宜大于2倍接地体长度，水平接地体之间距离宜大于5m，跨越结构缝时应有补偿措施。

检验方法：观察检查，尺量。

检验数量：全部。

10     自动控制系统

洁净室的自动控制系统的施工验收，不含机电设备自带控制和有特殊要求的控制的施工和验收。

1，自控设备的安装

自控设备仪表和材料在安装前的保管期限不应超过半年。当超期保管时，应符合保管的专门规定。

自控设备的安装应根据其使用目的，选择易于正确检测和动作的安装部位，在安装位置周围应预留相应的维修保养空间。

自控设备、仪表不应安装在有振动、潮湿、宜受机械损伤、有强电磁场干扰、温度变化剧烈和有腐蚀性气体的位置。

温湿度传感器、湿度变送器和压力变送器应安在能真实反映输入变量的位置，并应避开风口的直吹气流。安装底板和接线盒之间应密封处理。

风管或配管上插入式温、湿度传感器应按绝热层的厚度选择安装支架或套管。套管应垂直或水平面向管内流体。

直接安装在管道上的设备、仪表，宜在管道吹扫后和压力试验前安装，当必须与管道同时安装时，在管道吹扫前应将其拆下。

压力变送器的压力检测部位与导压管之间应安截止阀。 导压管至变送器应有1：20的倾斜度。压力变送器安于蒸气管道上时，应安装防止与蒸气直接接触的虹吸管；当安于风管上时，变送器应垂直于空气流动方向。

安装电动调节阀时应注意安装方向，阀体和执行器应垂直于管内流体流动方向并应在上流方向安过滤器。执行器应在阀体上方。安装于室外的非防水执行器应有防护罩保护。

设备、仪表上接线盒的引入口不应朝上，当不可避免时，应采取密封措施，施工过程中应及时封闭接线盒及引入口。

仪表盘、柜、操作台安装时应将其内外擦拭清洁，相邻两盘、柜、台之间的缝隙应不大于2mm，并应密封。

2， 自控设备管线的施工

洁净室自控设备管线的施工应满足建筑装饰的要求，应可随时进行清洁处理。

自控设备管线应采用金属线管或金属线槽。

线槽经过建筑物变形缝时，线槽本身应断开，槽内应用内连接板搭接，不需固定。保护地线和槽内导线均应留有补偿余量。

3，自控设备的综合调试

在自控设备综合调试之前，应完成各控制设备的单体检测和调试，即通过模拟信号出入，完成给定的单体控制动作。

综合调试应完成下列工作：

1. 相关动力设备的启动停止和联动。

2. 确认设备运行动作和控制范围符合设计要求。

3. 确认控制状态，微调各控制回路的控制参数。

4，中间验收

中间验收应符合下列规定：

1. 验收时施工方应提交下列文件：

1）全套设计文件；

2）验收文件；

3）仪表设备交接清单；

4）仪表设备和工程材料产品质量合格证明；

5）仪表设备的使用说明书；

6）进口产品的通关文件；

7) 自控盘、柜图纸；

8）设备安装现场平面图；

9）设备接线表；

10) 控制动作调试报告；

11) 系统设备参数设置表。

2. 隐蔽工程应提前验收。

主控项目

控制仪表、传感器、调节阀及控制柜等应安装到位；设备之间的连接及排管、布线应正确；设备品质证明应齐全。

检验方法：观察检查和核查文件。

检验数量：全部。

进行系统的控制动作调试。

检验方法：应符合本规范第10.4.2条的要求。

检验数量：全部。

中间验收完成后，应将自控系统投入运行不少于一周，然后施工方应对系统做最后的调试，满足设计要求。

11     设备安装

设备在现场开箱之前，应在较清洁的环境内存放，并应注意防潮。

设备应在指定的非受控环境拆除外包装（生物安全柜除外），但不得拆除、损坏内包装。设备内包装应在搬入口前室的受控环境中先按从顶部至底部方向采用净化吸尘器吸尘、清洁后再拆除。设备的外层包装膜应按从顶部到底部的顺序剥离。

设备运到现场拆开内包装，应核查装箱文件、配件、设备外观，并应填写开箱验收记录，然后应向监理工程师报验。设备开箱检查完毕后应立即开始安装。

1，净化设备安装

有风机的净化设备当其风机底座与箱体软连接时，搬运时应将底座架起固定，就位后放下。

净化设备安装应在建筑内部装饰和净化空调系统施工安装完成，并进行全面清扫、擦拭干净之后进行，但与围护结构相连的设备（如余压阀、传递窗、空气吹淋室、气闸等）或其排风、排水（如排风洁净工作台、生物安全柜和净化空调器的排水地漏等）管道必须与围护结构同时施工时，与围护结构应圆弧过渡，曲率半径不应小于30mm，连接缝应采用密封措施，做到严密清洁。

设备或其管道的送、回、排风（水）口在设备或其管道安装前、安装后至洁净室投入运行前应封闭。

安装设备的地面应水平、平整，设备在安装就位后应保持其纵轴垂直、横轴水平。

带风机的气闸室或空气吹淋室与地面之间应垫隔振层，缝隙应用密封胶密封。

带风机的层流罩直接安装在吊顶上时，其箱体与吊顶板接触部位应有隔振垫等防振措施，缝隙应用密封胶密封。

凡有风机的设备，安装完毕后风机应进行试运行，试运行时叶轮旋转方向应正确，试运行时间按设备的技术文件要求确定，当无规定时，不应少于1h。

2， 设备层中的空调及冷热源设备安装

安装空调设备时应按设计要求，核对型号、规格、方向和功能段（或模块）。

安装空调设备时应对设备内部进行清洗、擦拭、除去尘土、杂物和油污。

有检查门设备的门框应平整，密封垫应符合本规范第5.3.2条和第5.3.3条的规定。

应对现场（包括技术夹层和机房）组装后的组合式空调机组本体的各连接缝做密封处理，然后按国家现行标准《组合式空调机组》GB/T1429的方法检漏。

净化风机盘管的进出水管均应绝热，排水软管不得折弯、压扁，凝水盘的排水口应处于最低位置。

安装空调设备四周的设备层地面应做防水处理，并应平整、无麻面、不起尘。该处地面应设挡水线，不应设排水沟。挡水线范围之内设地漏，地漏水封高度应符合设备技术文件要求。当无明确要求时，不应小于70mm（防高压穿透）。冷凝水出管应有阀门，无冷凝水排出季节阀门应关闭，并应有提示标志。

当空调设备内表冷器设在负压段时，地面应设不小于冷凝水出水水封段高度的水泥底座，底座高度不宜低于200mm（防风机全压穿透）。

空调设备内加湿器的安装应设独立支吊架，不得在空调机组壁板上开设固定支架用的安装孔。加湿器喷管与机组壁板间应做好绝热、密封处理。

吊顶内空调设备应留有一定的检修、维护空间，应在洁净室外就近吊顶处设便于人员进出的检修口，并应有照明设施。

安有空调设备的吊顶不应直接与室外相通。

吊顶内的空调设备宜设置防止水直接漏至吊顶上的导流措施。

吊顶内空调设备水管主要接口处正下方不应设置电线接盒、电气元件等。

吊顶内安装的空调设备应有减振措施。

冷冻水、冷凝水、冷却水、蒸气（热水）等各种阀门应选用铜或不锈钢等材质的优质阀门，并应安装在方便操作和维修的位置。

系统中的电加热器安装必须与不耐燃部件保持安装距离，电加热与其他构件接触处应垫以不燃材料的绝热层；与风管的连接法兰，应采用耐热不燃材料。电加热器的外壳应有良好接地，外露接线应有安全防护罩。

3， 生物安全柜安装

11.4.1 生物安全柜内如有气管和水管，应同时安装完毕。

11.4.2 当多台生物安全柜的排风支管与竖井内封闭的排风立管相连接时，支管应采用防回流装置，并应从立管入口后向上伸入最少0.6m。

11.4.3 生物安全柜安装就位之后，连接排风管道之前，应对高效过滤器安装边框及整个滤芯面扫描检漏。当为零泄漏排风装置时，应对滤芯面检漏。

11.4.4 在采用压力相关的手动调节阀定风量系统中，当多台安全柜排风并联时，整个系统在安全柜安装后应重新平衡，采用压力无关的风量平衡阀时可不做此项平衡。

11.4.5 生物安全柜安装并检漏之后，应进行下列现场检验。

1. Ⅱ级安全柜安装后，应作操作区气流速度检验，应确认结果符合国家现行标准《生物安全实验室建筑技术规范》GB50346的要求。

2. Ⅰ、Ⅱ级安全柜安装后，应作工作窗口气流方向检验，应确认通过整个操作口的气流流向均指向柜内。

3. Ⅰ、Ⅱ级安全柜安装后，应作工作窗口气流速度检验，应确认结果符合国家现行标准《生物安全实验室建筑技术规范》GB50346的要求。

4. 接地装置的接地线路电阻检验，应确认接地的分支线路在接线及插座处的电阻不超过设计规定值。

4，工艺设备安装

工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能。

工艺设备安装时，现场的净化空调系统应已连续运行24h以上；现场除正常照明外，应配备三相380V、单项220V和低压行灯电源。

任何用于大设备的提升、牵引或定位的专用设备在进入洁净室安装现场前，应彻底清洁，并应检查有无脱屑、剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料。

设备安装时应妥善保护墙壁与地面，设备的软胶轮应予包裹，避免在地面拖磨。开洞作业不应划伤或污染所在表面。设备安装位置穿越不同洁净级别区域时，穿越处缝隙应用柔性材料填充、密封，并应装饰处理。

设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙，设备周围应留出足够的安装空间。隔离区内应阻断正压送风。进入隔离区的人员应按进入洁净区要求。

除设计有明确要求外，设备的安装宜不作永久性固定，不采用地脚螺栓方式。宜安装成可移动性的半固定式。

无脚轮的设备安装就位时，应有承重部位地面的保护措施。

11.5.8 设备离墙距离应能满足维修和清扫要求。当靠墙安装时，与墙间的缝隙应密封。

11.5.9 设备底面应抬离地面80mm~150 mm，不能抬高这一距离时，应落地安装，与地面间的缝隙应密封。

11.5.10 水池、水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封。

11.5.11 设备配管配线所用各种管线原料和垫料、填料等辅料应对产品和环境无不良影响。应避免在洁净环境中进行材料加工，当不可避免时，应采取防止粉尘扩散措施。

11.5.12 当设备较高无法擦拭到顶部时，应采取可以清扫的措施。

11.5.13 应在设备找正、调平后进行设备二次配管、配线。

5，中间验收

中间验收应符合下列规定：

1. 应核对设备的所有文件和记录。应符合设计和工艺要求。

2. 对工艺设备的中间验收，必须有工艺人员参加。

主控项目

设备安装基础应水平，每 1m长度内允许误差应为0.5mm。

检验方法：用0.5m以上水平尺找平，用2m直尺和塞尺测量。

检验数量：所有有转动机构的设备。

11.6.3 减振垫和垫铁的放置应整齐、平衡、接触良好，垫铁组外露和伸入设备的长度应符合要求。

检验方法：观察检查。

检验数量：抽查30%。

11.6.4 设备上所有活动和需拆卸部件处均应由足够的活动空间。

检验方法：观察检查。

检验数量：抽查30%台件，不少于2台。

11.6.5风机的转动方向应无误。

检验方法：手盘或瞬间给电后观察。

检验数量：全部。

11.6.6 转动设备的主动和被动皮带轮之间的皮带应拉直，应无可见弯曲，松紧程度应合适。

检查方法：用直规检查平直，用手指在皮带中部按压检查松紧，能按下深度应在12.5mm~25mm之间。

检验数量：全部。

11.6.7 所有有转动的设备的隔振措施应符合设计要求，应有绝热、隔热措施的部位应已采取绝热、隔热措施。

检验方法：观察检查。

检验数量：抽查30%。

11.6.8 在保持1500Pa静压条件下，组合式空调机组箱体漏风率应符合下列规定：

用于1-5级净化空调系统的机组不应大于1%，用于6-9级净化空调系统的机组不应大于2%。

检验方法：按国家现行标准《组合式空调机组》GB/T1429的方法检验。

检验数量：1-5级的为全部，6-9级的抽查30%，但应不小于1台。

11.6.9 安装后的生物安全柜部分性能，应符合本规范第11.4.8条的规定。

检验方法：核查文字记录。

检验数量：全部。

11.6.10 设备与围护结构间缝隙应有密封，外观良好。

检验方法：观察检查。

检验数量：抽查30%。

12    消防系统

12.1 一般规定

12.1.1 施工使用的设备、组件和原材料应符合设计要求，并应采用符合法定机构检测确认合格的产品。

12.1.2 消防系统工程施工中采用的工程技术文件、承包合同文件对施工及质量验收的要求不得低于本规范的规定。

12.1.3 自动喷水灭火系统、气体灭火系统和火灾自动报警系统的工程施工及验收应符合相应的国家现行有关标准、规范的规定。

12.2 防排烟系统

12.2.1 排烟管道的安装试验应符合本规范第5章的有关规定。

12.2.2 排烟管道的隔热层应采用厚度不小于40mm的不燃绝热材料。

12.2.3砖、混凝土风道的制作应保证管道的气密性，灰缝应饱满，内表面水泥砂浆面层应平整。

12.2.4 送风口、排烟口的固定应可靠，表面应平整、无变形、调节灵活。排烟口距可燃物或可燃构件的距离不应小于1.5m。排烟口安装时不应影响防倒灌设施正常发挥作用。排烟口应安装板式排烟口，不应漏风。

12.2.5 排烟风机的安装应符合下列规定：

1. 当独立排烟风机设在混凝土或钢架基础上时可不设减振装置；若需设置减振装置，则不应使用橡胶减振装置。

2. 排烟风机宜安装在该系统最高排烟口之上，并宜安在机房内，机房与相邻部位隔墙应符合防火要求。