5.6.8 5级以下以过滤非生物气溶胶为主要目的的洁净室的送风高效过滤器或其末端装置安装后应现场进行扫描检漏，检漏比例不应低于25％。扫描高效过滤器现场检漏方法可按附录E的方法执行。

5.6.9高效过滤器和框架之间采用密封垫密封、负压密封、液槽密封、双环密封和动态气流密封等方法时，都应将填料表面、过滤器边框表面和框架表面及液槽擦拭干净。不得在高效过滤器边框与框架之间直接涂胶密封。

5.6.10 采用密封垫时，压缩率宜为25%~30%，不得将密封垫压死。密封垫材质和接头形式应符合本规范第5.3.2～5.3.3条的规定。当用螺栓、压块压紧密封垫时，四角应压紧，不得只压边框中点。当过滤器尺寸大于320mm时，应至少采用四角8点压紧。

5.6.11 采用液槽密封时，液槽内的液面高度应符合设计要求或不超过槽深2/3，框架各接缝处不得有渗液现象；采用双环密封条时，粘贴密封条时不应把环腔上的孔眼堵住；双环密封、负压密封、动态气流密封都应保持负压或正压管、槽畅通；采用阻漏层和风机过滤器单元（FFU）时，边框不应用胶封，应设柔软隔层使其处于自然压紧状态。

5.6.12 安装高效过滤器时，外框上箭头和气流方向必须一致，当其垂直安装（包括码放）时，滤纸折痕缝应垂直于地面。

5.6.13 高效和亚高效过滤器安装过程中，室内不得进行带尘、产尘作业，安装完后应用塑料薄膜将出风面封住，暂时不上扩散板等装饰件。

6     气体系统

洁净室气体系统施工包含工作压力一般不高于1MPa洁净的和高纯的永久气体（临界温度低于-10℃的气体）、特种气体、医用气体、可燃气体、惰性气体输送管道以及真空吸引管道等的施工与验收。

1， 管材及附件

气体系统管道材质及附件，应按设计要求选配，如设计未作明确要求，选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应，并应符合下列规定：

1.应使用无缝管材。

2.管材内表面吸附、解吸气体的作用小。

3.管材内表面应光滑、耐磨损。

4.应具有良好的抗腐蚀性能。

5.管材金属组织在焊接处理时不应发生变化。

6.负压管道不宜采用普通炭钢管。

所用管材应放在室内保管，不得重叠码放。管道应无裂纹、缩孔、夹渣、起瘤、折叠、重皮、锈斑、表面损伤等缺陷。管道应平直、圆滑。         成品管外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施应有效、无破损。

氧气阀门必须采用专用产品，其密封圈应采用有色金属、聚四氟乙烯等材质。填料用经脱脂处理的聚四氟乙烯。

高纯气体管路，可用不锈钢材质的附件，但在不锈钢材质的管路中，不应采用铜质的附件。

2， 管道系统安装

管道安装前应进行以下准备工作：

1.配管下料时应采用“等离子切割”或专用切割锯、割管刀等工具，不应采用氧乙炔焰切割，不得涂抹油脂或润滑剂。

2.管道切口应与管轴线垂直，切口表面应平整、无裂纹，应去除毛刺。

3.在主管道上连接支管或部件时，宜用成品连接件。

4.普通不锈钢管应在工厂的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水冲洗干净。

5.氧气管道及附件，安装前应按相关规定方法进行脱脂，脱脂应在远离洁净室的地点进行，并做好操作人员的安全与环境保护工作。

管道敷设应符合设计要求，设计无要求时，应敷设在人员不易碰撞的高度上，否则应有防护设施。输送干燥气体的管道宜无坡度敷设；真空吸引管道和含湿气体管道的坡度宜大于或等于0.3％，坡向真空泵站或冷凝水收集器。

不锈钢管道应采用氩弧焊焊接连接，焊接时管内应充氩气保护，直至焊接、吹扫、冷却完毕后停止充气。

有接地要求的管道，法兰间必须接有多芯导电跨线。

穿过围护结构进入洁净室的气体管道，应设套管，套管内管材不应有焊缝与接头，管材与套管间应用不燃材料填充并密封，套管两端应有不锈钢盘型封盖。

高纯气体管道的安装，除应符合以上有关条款规定外，还应符合下列规定：

1.经脱脂或抛光处理的不锈钢管，安装前应采取保护措施，严防二次污染。

2.管道预制、分段组装作业，不得在露天环境中进行。

3.分段预制或组装的管段完成后两端应用膜、板等封闭。

4.高纯气体管道为无缝铜管时，应采用承插式硬钎焊焊接。焊接紫铜管时应按国家现行标准《磷铜钎料》GB/T6418-93要求选用磷铜钎料；焊接紫铜与黄铜管时宜按国家现行标准《银基钎料》GB10046-88要求，选用HL304含银量为50％的银基钎料。管内应通入与工艺气体同等纯度的氮气作为保护气体并吹除，不宜用沾水纺织材料擦拭。

5.高纯气体管道如无法避免用螺纹连接时，宜在铜与铜、铜与铜合金附件外螺纹上均匀挂锡，非氧气管道宜采用聚四氟乙烯带缠绕管口螺纹。

6.不锈钢管、铜管应冷弯，弯管半径宜大于等于5倍管材外径；管壁不得起皱。

7.高纯气体管道为聚偏二氟乙烯（PVDF）管时，应采用自动或半自动热焊机焊接连接。两管对接面错边不应大于1mm。不同壁厚的管子不得对焊，热焊接连接时应采取保护环境和人员安全的措施。

8.管道系统支架间距应小于普通气体管道的支架间距，并应采用吊架、弹簧支架、柔性支撑等固定方式。不锈钢管与炭钢支架之间应垫入不锈钢或氯离子含量不超过25×10-6（25ppm）的非金属垫层。

9.洁净室内高纯气体与高干燥度气体管道应为无坡度敷设，不考虑排水功能，终端应设放气管。

医用气体管道安装后应加色标。不同气体管道上的接口应专用，不得通用。

3， 管道系统的强度试验

可燃气体和高纯气体等特殊气体阀门安装前应逐个进行强度和严密性试验。管路系统安装完毕后应对系统进行强度试验。强度试验应采用气压试验，并应采取严格的安全措施，不得采用水压试验。当管道的设计压力大于0.6MPa时，应按设计文件规定进行气压试验。

气压试验应采用洁净度与洁净室等级匹配的惰性气体或压缩空气进行，试验压力为设计压力的1. 15倍。

试验时应逐步缓慢增加压力，当压力升至试验压力50％时，如未发现异常与泄漏，继续按试验压力的10％逐级升压，每级稳压3min，直至试验压力。稳压10min后，再将压力降至设计压力，停压时间以查漏工作的需要而定，以发泡剂检验无泄漏为合格。

真空管道的气压试验压力应为0.2MPa。

当管道输送的介质为“有毒气体”、“腐蚀性气体”、“可燃气体”时，应进行最高工作压力下的泄漏试验。对管段之间焊接接头、管路的分支接头、阀门的填料、法兰或螺纹的连接处，包括全部金属隔膜阀、波纹管阀、调节阀、放空阀、排气阀等，应以发泡剂检验不泄漏为合格。

经过气压试验合格的系统，试验后未经拆卸，该管路系统可不再进行泄漏试验。

真空管道在强度试验与泄漏试验合格后，应在系统联动运转前，以设计压力进行真空度试验。试验宜在气温变化较小的环境中进行，试验时间应为24h，增压率不应大于3％。

4， 管道系统的吹除

气体管道各项试验合格后，应使用与洁净室洁净度级别匹配的洁净无油压缩空气或高纯氮气吹除管内污物，吹除气流流速应大于20m/s，直至末端排出气体在白纸上无污痕为合格。

管道吹除合格后，应再以实际输送的气体，在工作压力下，对管道系统进行吹除，应无异常声音和振动为合格。输送可燃气体的管道在启用之前，应用惰性气体将管内原有气体置换。

5， 气体供给装置

瓶装气体供给装置应安装在使用洁净室之外的房间，两室之间穿墙的管道应加套管，并应在管道与套管间隙填满不燃材料并加密封。

装置出口管道上的安全阀在安装前应进行阀门开启检查。开启压力、密封压力和回座压力应符合安全阀性能要求。

集中式真空吸引装置应安装在远离洁净室的建筑物外，安装时应采取有效隔声防振措施，与其连接的弯管半径不应小于5倍管外径，过滤清除设施应安在排气口。

6， 中间验收

气体管道应在气密性测验合格后进行泄漏率检查，应以设计压力保持24h后，泄漏率不超过0.5%为合格。允许堵漏后再试验。

式中： A—泄漏率

 P1、P2—试验开始和结束时的绝对压力（MPa）；

T1、T2—试验开始和结束时的绝对温度（0K）。

7      水系统

洁净室的水系统施工包含工艺用水系统、空调用水系统和局部生活用水系统的给水与排水系统的施工与验收。

          1，给水

污染区域特别是微生物污染区域内的供水管，不得与用水设备直接相连，必须有空气隔断，配水口应高出用水设备溢出水位，间隔不应小于2.5倍出水口口径。在供水点和供水管路上均应安装压差较高的倒流防止器，供水管上还应设关断阀，供水管上的倒流防止器和阀门应设在清洁区。

洁净区的给水管道应涂上醒目的颜色，或用挂牌方式，注明管道内水的种类、用途、流向等。

生活用水系统不应采用镀锌钢管，可选用给水塑料管、不锈钢管、无缝钢管，工艺和空调给水系统应选用无缝铜管、聚丙烯管、不锈钢管，并应采用焊接或快速接口连接。

2，排水

污染区特别是致病微生物严重污染区域的排水管应明设，并与墙壁保持一定检查维修距离。有高致病性微生物污染的排水管线宜设透明套管（如透明PVC管）。

污染排水管道应有足够的强度和耐腐蚀性能。用化学灭菌的排水管道可用聚丙烯、聚氯乙烯材料。

致病微生物严重污染的排水管道如设有自动阀，应在其前后再设手动阀，阀门安装位置和方式应有采用蒸气和其他气体灭菌的条件。

 管线布置应符合设计要求。当设计未明确要求时，压力给水管应避让重力流排水管；附件少的管道应避让附件多的管道。

 致病微生物严重污染的排水管道上的通气管应伸出屋顶，距站人地面应在2m以上，不要接到清洁区；周边应通风良好，并远离一切进气口。处理排气的高效空气过滤器的安装位置与方式应方便维修和拆换。不同用途房间的排水通气管应各自独立。不得将通气口接入净化空调系统的排风管道。

致病微生物严重污染的排水管的末端应设定期检查水样的采样口，采样口应有严格密封措施。

 致病微生物严重污染的排水管道穿墙的地方，应采用不收缩、不燃烧、不起尘的材料密封。

地漏的安装应平整、牢固、无渗漏。地漏顶标高应低于附近地面5mm～10mm。地漏安装后必须先封闭。

3，热水

生活和清洁用热水绝热措施的安装应能维持储存温度不低于600C或循环温度在510C以上的条件。

作为消毒器件用热水的绝热措施的安装应能维持储存温度不低于800C，或循环温度在650C以上的条件。

冷热水混合用的自动调温阀应安装在出水口处。

4，纯化水与高纯水

工艺用纯化水与高纯水处理设备的安装应符合下列规定：

1. 纯化水处理设备的安装除应符合设计要求外，还应符合国家现行标准《电子级水》GB11446.1等有关规定。

2. 纯化水处理流程工艺布置与安装方式应合理、安全、方便、美观。必须校核安装承重安全。

3. 纯化水水站的地面、沟道和设备必须作防腐处理，应有急救处理药箱的固定放置地点。

4. 沙滤器、活性炭过滤器和离子交换器的安装应保持垂直。膜过滤器、反渗透系统、超滤系统和电再生离子系统基架应安置水平。

5. 集水滤帽固定应牢固，无污损。

6. 滤器中所有介质应按量投入、铺平、冲洗，待所有介质全部加完后反洗，反洗时间对沙层应为1h，对活性炭应为2h。并应再正洗30min。

7. 离子交换器应按设计要求加装树脂。

8. 反渗透压力容器的交换膜可用甘油作润滑剂，但不得使用硅脂。

9. 膜过滤设备安装膜之前应彻底清洗设备管路，不得有颗粒物进入膜组件。

纯水和高纯水管道、管件、阀门安装前应清除油污和进行脱脂处理。

管道、管件的预制、装配工作应在洁净环境内进行，操作人员应穿洁净工作服、戴手套上岗。

管件安装前后或停顿工作时，应充高纯惰性气体保护，并应以洁净塑料袋封口，一旦发现封袋破损应及时检查处理。

纯化水和高纯水（含注射用水）管道以及纯蒸气管道采用不锈钢（SUS）管时，其管道加工、安装应符合下列规定：

1. 不锈钢管在堆放、加工过程中，不应直接与炭钢支架管卡接触，应以塑料或橡胶垫片隔离。

2. 管道连接宜采用焊接、焊环活套法兰和凹凸法兰等连接方式。

3. 焊接应采用自动焊，管内灌充纯氩气（纯度99.999％）直至焊接、吹扫完毕。管壁冷却后再用四氯化炭脱脂，然后封闭管口。施焊方向与充气气流方向一致。

4. 管道部件的点固焊可采用手工钨极氩弧焊，充氩应直至管壁冷却。

5. 设计无要求时，法兰垫片宜采用非金属的聚四氟乙烯或软质聚氯乙烯板。法兰紧固螺栓应采用不锈钢材料。

6. 焊接人员应有相应资质，施焊前应按施工要求做出样品，并应在检验合格后上岗。

7. 管道系统安装应具备无不流动死水段的特性，系统安装后应有不小于0.5％的坡度。系统管道和所有设备的安装应具有残余水放空能力。

8. 管道在焊接、安装结束后，应将管内焊缝氧化物冲洗干净，再进行脱脂和酸化钝化，并记录在案。

纯水、高纯水管道当采用偏聚二氟乙烯（PVDF）管时，应符合本规范第6.3.6条的相关要求；当采用硬聚氯乙烯（PVC）管、聚丙烯（PP）管和工程塑料（ABS）管时，其管道加工、安装应符合下列规定：

1. 管道加工、安装应在室温50C以上、相对湿度85％以下的清洁环境中进行。

2. 管道的连接宜采用粘接、焊接、平焊法兰连接及活接头连接。

3. 管道或管件的承口不应歪斜和厚度不匀。管端不应有裂缝。管道的承插间隙不应大于0.3mm。

4. 管道在粘接前，应对粘接面进行磨沙处理和清洁处理，不得沾污。应远离火源。承口上涂粘接剂，应不少于2次。应保证插入承口的深度，插入深度达到规定后应保持20min。

5. 活接头的接管与管道应采用粘接、焊接或螺纹连接。

6. 埋地敷设时，应对垫层进行处理或设简易管沟；安装在地面上时，应设防护罩。

7. 管道采用焊接或平焊法兰连接时，应采用自动或半自动热焊机。管道法兰应根据不同厚度加工坡口。焊缝应填满，并高于管子表面2mm～3mm，宽度均匀，不应有焦黄、断裂、虚焊等缺陷。焊缝强度不应低于母材的60％，焊缝材质应与母材相同。不同管壁厚度的管道、附件不得对焊。

8. PVC管道焊接时应为均匀的双重焊道，焊道宽度由壁厚确定，并不应小于2mm。

9. 管道支、吊架不应设在管子接头、焊缝处。所有阀门应以支架支承。支、吊架与管子之间应填入软质绝缘物分隔。

10. 穿越围护结构时，应设套管，套管内不应有接头。

11. 直管段超过20m长时，应安装伸缩管。

纯水、高纯水管道系统压力试验合格后，应在系统运转前进行自来水冲洗，冲洗速度宜大于2m/s，直至冲洗前后水质相同。冲洗后应再用10％双氧水进行后级循环消毒4h以上，然后用反渗透透过水冲洗直至前后水质符合设计要求。

5，中间验收

水系统中间验收应按管道系统、检验批或分项工程分别进行。

管材、管件及其施工方法应符合设计要求。

管材、管件、阀门等组对时，应做到内外壁平齐，对不锈钢管、PVC管相差不得大于0.2mm；非金属管相差不大于1mm，管道壁厚差不应大于1％；承插间隙应符合要求。

热水管道应在工作温度流动下试验，并应保持30min不泄漏

8      化学物料供应系统

用于洁净室中使用的具有爆炸性、易燃性、剧毒性和腐蚀性的酸、碱、有机溶剂等化学物料储存供应设备、输送系统管路的安装施工及验收。

1， 储存设施

储存间的机械排风出入口处应通畅无障碍，避免气体积聚。

容器的搬运除应严禁倒置、撞击。

储存设施与空间在施工完成后应按规定在明显位置建立醒目标志。

储存和分配间设置的隔堤，堤内容积应大于最大储罐的容积，并不低于500mm，堤体必须密实不漏，管道穿堤处应采用不燃材料密封。