Clean Room Clean Tunnel? 没听说过吗？实际上，以两个层流处理区和其间的湍流处理区形成隧道式洁净环境的净化处理方式称为洁净室洁净隧道。它是结合了整体房间净化和局部净化的代表性净化方式，目前正在作为第三代净化方式进行推广。根据构成洁净隧道的设施不同，洁净室洁净隧道可分为以下几种形式：
(1) 桌面洁净室Clean Tunnel
洁净室内的洁净隧道连接洁净工作台，去掉中间的侧壁，形成生产所需的隧道型生产线。如果您的洁净室工艺需要垂直层流，您可以选择垂直层流工作台。如果工艺需要水平层流，则选择水平层流工作台。与净化整个房间相比，更容易确保局部空间的高洁净度，而且由于工作台相互连接，可以减少或防止交叉污染。另外，对建筑的要求也比较简单，只有湍流的洁净室环境。缺点是由于洁净工作台尺寸固定，操作面不够灵活，洁净室工艺设备也必须与工作台尺寸相适应，调整起来不是很方便。
(2)舱室洁净室洁净隧道
棚式洁净隧道是将洁净棚，即棚式垂直层流机组串联在一条生产线上而构成的。根据洁净室的技术要求，可以改变洁净棚的面积，使空气在室内充分流通，也可以接入集中净化空调系统吸收部分新鲜空气。空气。棚屋式洁净室洁净隧道适用于安装大型工艺设备的场所。工业管线可明装采用图a形式，工业管线需要暗装时采用图b形式。
(3)罩式洁净室洁净隧道
此类洁净隧道由层流罩组成，即在生产线上串联的罩式垂直层流单元。层流罩的深度小于洁净室的深度，因此只适用于工艺设备较小的洁净室。空气循环系统类似于棚屋式洁净隧道和桌式洁净隧道，是目前应用较广的一种用于洁净室的洁净隧道。
(4)集中送风洁净室洁净隧道
集中送风洁净隧道由一个静压箱组成，上面覆盖着集中送风系统的高效过滤器。这种洁净隧道的层流工作区宽度可根据洁净室工艺要求来确定，不像台面式、棚式、罩式洁净隧道那样有宽度限制。局部澄清器的尺寸减小了层流工作面积，使设计更加灵活。洁净室采用这种形式时，回风可通过技术通道或在湍流行为活跃区域设置沟槽，如图所示。也可以将工业管道靠在洁净室工作区的墙壁上，并将排气管连接到排水沟。
