1、平面由进程决定。电子厂精炼车间的工艺布局必须适应电子产品发展的灵活性，满足产品生产工艺改造和扩产的需要。

2、主体结构宜采用大空间、大跨度的柱网，不宜采用内墙承重体系。

3、大型电子厂的精炼车间多采用“三明治”多层结构，上层工艺夹层，下层工艺夹层。

4、应考虑大型生产工艺设备的安装和维护要求，设置不影响洁净生产环境的必要运输路线和安装口或检修口。

5、电子厂清理车间按二次耐火设计。

6、特种气体储配室与净化工作区之间采用防火隔墙隔开，隔墙防火等级为1H及以上。有毒硅烷或其混合气瓶的贮存区应至少三边敞开，气瓶与周围构筑物或围栏的距离至少为3米，贮存区应遮荫。少于350万

7、电子厂净化车间装修材料不得使用会释放影响电子产品物质的材料。

8、电子厂净化车间除设置一般生物净化室外，还可设置风淋室。淋浴间应与净化后的工作服更衣室相邻。单人淋浴房是为30人左右的大班设计的。如果您有5 名或更多员工，请安装侧门。可以安装隧道淋浴房供大量人员使用或缩短中转时间。

9、净化度更高净化车间采用净化水滴灯照明，尽量不影响气流的单向性和平行性。

10、电子厂精炼车间往往需要根据生产过程的要求设置防静电环境，以控制静电的产生，快速安全地去除产生的静电。

11、电子厂清理车间对微震对策有特殊要求，厂区环境应避开振动源。

12、净化车间除一般配管要求外，还有VLSI用水量标准。